石英管石墨舟清洗机 - 产品展示 - 深圳市泓意宝自动化设备有限公司
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石英管石墨舟清洗机

石墨舟装片房

一、    号:HYB-1000TB

二、设备用途:PECVD工序的石墨舟手动装卸片 

三、结构组成

本设备主要有本体部分、中间操作台、空气过滤系统、排风系统、控制系统组成,设有上部空气过滤系统、中间操作台、下部空气过滤冷却系统、底部定位部分。

材料:SUS304 2mm


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