功能介绍:
HYB-2000TA石英管清洗机是用于清洗PECVD石英管和扩散石英管的设备,用HF酸清洗然后再用纯水漂洗,最后用氮气吹干,适用于直径6″ – 13″ 长度〈3000mm的石英管清洗.
设备分为2个清洗槽,2个槽都能够满足酸槽要求,为浸泡式清洗,人工装取工件,顶部有吸风罩,由气动隔膜泵将酸在A槽和B槽之间循环抽液,实现清洗功能.
技术参数:
电机功率
120W.220V
滚动的转速
10转/分
使用的清洁剂
HF
压缩空气
0.5Mpa—07Mpa
外型尺寸(L*W*H)
4100*1410*1950mm